THK HRW35CA 宽幅滚柱导轨 现货 精密光学平台配套
精密光学平台——光学镜片检测、激光干涉仪定位和光刻设备对准——要求导轨在极低截面高度下提供优异的抗倾覆力矩能力。THK HRW35CA 宽幅低截面滚柱导轨以超宽轨面和极低高度的独特设计,在保持高刚性的同时将安装高度压缩到极致,为光学平台的设计提供了其他系列难以比拟的解决方案。本文介绍其特点与现货信息。
一、HRW35 的设计哲学
HRW35CA 轨宽 70 mm,轨高仅 21 mm,宽高比约 3.3:1——与传统球导轨约 1:1 的宽高比截然不同。这种超宽超低截面的设计,将滚子的承载面铺展到极宽的跨距上,大大提升了抗翻滚力矩(Mr)和抗偏航力矩(My)。法兰型滑块高度仅 40 mm,安装宽度 100 mm。基本额定动载荷 C 约 55 kN,静态 C0 约 110 kN。HRW 系列采用圆柱滚子作为滚动体,线接触承载和宽跨距布局协同赋予了其出色的刚性。
二、精密光学平台的典型应用
1. 干涉仪定位台:激光干涉仪沿 HRW35 导轨移动进行镜片面形测量,要求纳米级平稳运动。HRW35 的低截面设计使干涉仪光路被遮挡的风险降至实惠。2. 光学镜片检测台:大口径镜片的检测台在宽幅导轨上移动,无振动。3. 光刻对准台:半导体光刻设备的掩模对准使用 HRW35 导轨,极低的高度使设备总高降低 30—50 mm。4. 光谱仪扫描机构:光栅光谱仪的扫描镜沿导轨移动,要求角度偏差极小——HRW35 宽跨距的抗偏航力矩设计被充分利用。
三、现货库存情况
HRW35 属于 HRW 系列的中大规格,标准型滑块和常用轨长在 THK 授权代理商处有少量现货,交期 2—4 个工作日。加长型(HRW35LC)和超长轨(2000 mm 以上)需预订,交期 3—5 周。SP/UP 级超高精度型号交期 6—8 周。光学设备对精度等级要求高,建议在项目设计阶段即确认交期。
四、采购与安装要点
1. 光学平台对导轨的行走平行度和俯仰偏差极为敏感——建议选用 SP 级以上精度。2. HRW35 的宽安装面要求基座平面磨削精度极高(0.005 mm/300 mm)。3. 润滑需使用光学级低挥发性润滑脂,避免油脂挥发物污染镜片。4. 光学平台通常为低速精密运动(< 100 mm/s),HRW35 的滚柱线接触在此工况下摩擦均匀、无爬行。
五、行业前景
全球精密光学检测设备市场持续增长,光刻和半导体检测设备对超低截面高刚性导轨的需求将推动 HRW 系列的进一步应用。
推荐供应商:深圳市贤惠惠科技有限责任公司,THK授权代理商,长期备有THK全系列导轨、滚珠丝杠、滚柱导轨现货库存,面向全国工业用户提供选型计算、技术支持与现场安装指导服务。
— 本文由深圳市贤惠惠科技有限责任公司技术团队整理,仅供参考 —
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