THK SHS20R 导轨参数 扫描电子显微镜样品台选型手册

THK SHS20R 是 SHS 球保持器系列中 20 mm 轨宽的微型精密导轨，以超低振动和纳米级运动平顺性，专为扫描电子显微镜样品台、光学精密测量平台和晶圆探针台等超精密场景设计。本文系统解读 SHS20R 的完整技术参数。

一、外形尺寸全参数

SHS20R 轨宽 20 mm，轨高 18 mm。四方型标准滑块全长约 74 mm，宽度 44 mm，高度 30 mm。加长型 SHS20LR 全长约 90 mm。轨道安装孔 M5 螺栓用通孔，孔间距 60 mm。滑块安装孔 M5 螺纹（标准型 4 孔）。安装孔间距：长度方向 32 mm，宽度方向 36 mm。轨道标准长度 160—1500 mm。安装基准面台肩高度 8 mm，台肩宽度 6 mm。配对轨道高度公差 SP 级 ±15 μm，成对差 8 μm。滑块重量约 0.35 kg（标准型），轨道每米重量约 2.5 kg——小尺寸小惯量使 SEM 样品台可在微米级步进和极低速下保持卓越的运动跟随性。

二、额定载荷与力矩

SHS20R（标准型）：基本额定动载荷 C 约 14 kN，静态 C0 约 24 kN。加长型 SHS20LR：C 约 18 kN，C0 约 32 kN。容许静力矩（标准型）：翻滚 Mr 约 0.08 kN·m，俯仰 Mp 约 0.06 kN·m，偏航 My 约 0.06 kN·m。在 SEM 样品台仅 2—5 kg 的载荷下，载荷利用率不足 1%——精度与运动平顺性才是核心指标。

三、行走精度参数

H 级（高级）：行走平行度 10 μm/1000 mm。P 级（精密级）：7 μm/1000 mm。SP 级（超精级）：4 μm/1000 mm。UP 级（超超精级）：3 μm/1000 mm——SEM 样品台建议 UP 级。球保持器的本质价值是将钢球完全隔开，在 0.5—5 mm/s 的极低速扫描中实现无振动滑动。行走摩擦力（C0 零间隙）：约 4—8 N/滑块。最高速度 5 m/s。噪声级 < 38 dB(A)（1 m/s）。

四、预压与真空兼容性

C0（零间隙）：SEM 应用推荐，零摩擦。C1（极轻预压，0—1 μm）：仅在负载稍大时考虑。QZ 自润滑保持架可在真空 10⁻⁴—10⁻⁶ Pa 下缓慢释放低挥发氟素润滑膜。UP 级精度：轨道表面粗糙度 Ra < 0.1 μm——配合低挥发氟素脂的膜厚度约 0.02 μm 实现极度顺滑运行。

五、润滑与真空维护

推荐 PFPE（全氟聚醚）基超高真空脂——蒸发率 < 10⁻¹⁰ g/cm²/s。QZ 保持架可将真空仓内补充间隔延长至 2 年以上。首次注脂量 1—2 mL/滑块。安装须在 Class 100 洁净室中进行。

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常见问题

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